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[해외논문] Circuit model for flat cut-off probes with coplanar capacitance

Plasma sources science & technology, v.30 no.6, 2021년, pp.065012 -   

Yeom, H J ,  You, K H ,  Kim, Jung-Hyung ,  Lee, Hyo-Chang

초록이 없습니다.

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  28. Lee 2020 Planar-type plasma diagnosis apparatus, wafer-type plasma diagnosis apparatus in which planar-type plasma diagnosis apparatus is buried, and electrostatic chuck in which planar-type plasma diagnosis apparatus is buried 

  29. Lee 2020 Planar-type plasma diagnosis apparatus, wafer-type plasma diagnosis apparatus in which planar-type plasma diagnosis apparatus is buried, and electrostatic chuck in which planar-type plasma diagnosis apparatus is buried 

  30. Lee 2020 Planar-type plasma diagnosis apparatus, wafer-type plasma diagnosis apparatus in which planar-type plasma diagnosis apparatus is buried, and electrostatic chuck in which planar-type plasma diagnosis apparatus is buried 

  31. Lee 2020 Planar-type plasma diagnosis apparatus, wafer-type plasma diagnosis apparatus in which planar-type plasma diagnosis apparatus is buried, and electrostatic chuck in which planar-type plasma diagnosis apparatus is buried 

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