[논문]A negative tone lift-off method for small metal holes using PMMA/SiO2 double layer

Baek, J S; Lee, D

doi:10.1007/s12034-021-02568-2

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[해외논문] A negative tone lift-off method for small metal holes using PMMA/SiO2 double layer

Bulletin of materials science, v.44 no.4, 2021년, pp.275 -

Baek, J S , Lee, D

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참고문헌 (14)

Science Z Yuan 295 102 2001 10.1126/science.1066790 Yuan Z, Kardynal B E, Stevenson R M, Shields A J, Lobo C J, Cooper K et al 2001 Science 295 102

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Nat. Photonics D Press 4 367 2010 10.1038/nphoton.2010.83 Press D, Greve K D, McMahon P L, Ladd T D, Friess B, Schneider C et al 2010 Nat. Photonics 4 367

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J. Appl. Phys. M Taneya 66 1375 1989 10.1063/1.344439 Taneya M, Sugimoto Y and Akita K 1989 J. Appl. Phys. 66 1375

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Electron. Lett. H Hidaka 26 1112 1990 10.1049/el:19900719 Hidaka H, Akita K, Taneya M and Sugimoto Y 1990 Electron. Lett. 26 1112

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Appl. Surf. Sci. C Vieu 164 111 2000 10.1016/S0169-4332(00)00352-4 Vieu C, Carcenac F, Pépin A, Chen Y, Mejias M, Lebib A et al 2000 Appl. Surf. Sci. 164 111

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Appl. Phys. Lett. K Liu 80 865 2002 10.1063/1.1436275 Liu K, Avouris Ph, Bucchignano J, Martel R, Sun S and Michl J 2002 Appl. Phys. Lett. 80 865

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IEEE Trans. Electron. Dev. RE Howard 28 1378 1981 10.1109/T-ED.1981.20617 Howard R E, Hu E L and Jackel L D 1981 IEEE Trans. Electron. Dev. 28 1378

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Microelecton. Eng. F Yaghmaie 87 2629 2010 10.1016/j.mee.2010.07.030 Yaghmaie F, Fleck J, Gusman A and Prohaska R 2010 Microelecton. Eng. 87 2629

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J. Vac. Sci. Technol. THP Chang 12 1271 1975 10.1116/1.568515 Chang T H P 1975 J. Vac. Sci. Technol. 12 1271

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Moreau W M 2012 Semiconductor lithography: principles, practices, and materials (New York: Springer)
Microelectron. Eng. H Yang 85 814 2008 10.1016/j.mee.2008.01.006 Yang H, Jin A, Luo Q, Li J, Gu C and Cui Z 2008 Microelectron. Eng. 85 814

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Microelectron. Eng. M Rommel 110 123 2013 10.1016/j.mee.2013.02.101 Rommel M, Nilsson B, Jedrasik P, Bonanni V, Dmitriev A and Weis J 2013 Microelectron. Eng. 110 123

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Nanotechnology X Yang 28 474001 2017 10.1088/1361-6528/aa929e Yang X, Guo W, Wang X, Liao M, Gao P and Ye J 2017 Nanotechnology 28 474001

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