[논문]Deterministic role of fluorine incorporation in the amorphous Zn-O-N semiconductors: First-principles and experimental studies

Kim, Hyoung-Do; Kim, Jong Heon; Jang, Seong Cheol; Nahm, Ho-Hyun; Kim, Hyun-Suk

doi:10.1063/5.0069115

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AIP advances, v.11 no.10, 2021년, pp.105102 -

Kim, Hyoung-Do (Department of Materials Science and Engineering, Chungnam National University 1 , Daejeon 34134, Republic of Korea) , Kim, Jong Heon (Department of Materials Science and Engineering, Chungnam National University 1 , Daejeon 34134, Republic of Korea) , Jang, Seong Cheol (Department of Materials Science and Engineering, Chungnam National University 1 , Daejeon 34134, Republic of Korea) , Nahm, Ho-Hyun (Department of Physics, Korea Advanced Institute of Science and Technology 2 , Daejeon 34141, Republic of Korea) , Kim, Hyun-Suk (Department of Materials Science and Engineering, Chungnam National University 1 , Daejeon 34134, Republic of Korea)

Abstract ▼ AI-Helper

In this work, the effects of F incorporation in a-ZnON are investigated through first-principles calculations and experimental demonstrations. Based on first-principles calculations, the incorporated F in a-ZnON prefers to have structural properties similar to ZnF2 rather than merely serving as a substitute for the anion of ZnON. Therefore, this feature of F not only effectively makes the VN formation difficult but also greatly improves the structural order of Zn-N bonds near F. The experimental results also confirmed that similar to the calculational results, the nonstoichiometric and stoichiometric Zn-N bonds were decreased and increased, respectively, by F incorporation through the x-ray photoelectron spectroscopy analysis of the N 1s subpeaks. Furthermore, the F-doped zinc oxynitride thin-film transistors exhibited significantly improved transfer characteristics with high field-effect mobility (>50 cm2/Vs). The corresponded theoretical and experimental results demonstrated the role of incorporated F as a carrier controller and a structural stabilizer for ZnON.

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표제어: PCR

동의어: Packet Collision Rate

용어 설명 출처 목록 (6)

용어 설명: PCR은 세균 특이성이 있는 primer를 이용하여 적은 수의 세균이 있을지라도 쉽게 검출할 수 있는 유용한 방법이며, 이를 이용하여 구강 내 치면세균막이나 타액에서 직접 세균을 검출할 수 있게 되었다[8].

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