[논문]Effect of an inhomogeneous electron density profile on the transmission microwave frequency spectrum of the cutoff probe

Kim, S J; Lee, J J; Lee, Y S; Kim, D W; You, S J

doi:10.1088/1361-6595/abc816

[해외논문] Effect of an inhomogeneous electron density profile on the transmission microwave frequency spectrum of the cutoff probe

Plasma sources science & technology, v.29 no.12, 2020년, pp.125014 -

Kim, S J , Lee, J J , Lee, Y S , Kim, D W , You, S J

Abstract ▼ AI-Helper

AbstractThe cutoff probe (CP), which precisely measures electron density from a microwave transmission (S21) spectrum, has been successfully developed through physical models under the assumption of homogeneous plasma between the probe tips. In practice, however, the chamber and sheath structure, flow effects, and the probe insertion itself produce plasma inhomogeneity between the probe tips, which necessitates the study of any related effects on the CP measurement results. This paper investigated the effect of inhomogeneous plasma on the S21 of the CP through a three-dimensional E/M wave simulation with various density gradient directions. The simulations found, notably, double cutoff peaks and a cutoff frequency shift in the S21 that depend on the gradient direction. These results are analyzed via a simple circuit model of the CP, and their origins are elucidated at the end of this paper.

참고문헌 (44)

J. Vac. Sci. Technol. B Gaboriau 10.1116/1.1495502 20 1514 2002

상세보기
Radiat. Eff. Defects Solids Gopikishan 10.1080/10420150.2016.1267734 171 999 2016

상세보기
Appl. Phys. Lett. Kim 10.1063/1.1632026 83 2003

상세보기
Appl. Phys. Lett. Ashby 10.1063/1.1723556 3 13 1963

상세보기
Appl. Phys. Lett. Belostotskiy 10.1063/1.2939437 92 8 2008

상세보기
Plasma Sources Sci. Technol. Dine 10.1088/0963-0252/14/4/017 14 777 2005

상세보기
Phys. Plasmas Hopkins 10.1063/1.4874321 21 2014

상세보기
J. Appl. Phys. Piejak 10.1063/1.1652247 95 3785 2004

상세보기
Phys. Plasmas Blackwell 10.1063/1.2039627 12 2005

상세보기
Plasma Sources Sci. Technol. Kim 10.1088/0963-0252/25/3/035026 25 2016

상세보기
Rev. Sci. Instrum. Kim 10.1063/1.1793211 75 3368 2004

상세보기
Phys. Plasmas You 10.1063/1.4951029 23 2016

상세보기
J. Vac. Sci. Technol. A Nakamura 10.1116/1.1532740 21 325 2003

상세보기
Japan. J. Appl. Phys. Kokura 10.1143/jjap.38.5262 38 5262 1999

상세보기
Appl. Phys. Lett. Lapke 10.1063/1.2966351 93 2008

상세보기
IEEE Sens. J. Schulz 10.1109/jsen.2014.2333659 14 10 2014

상세보기
Phys. Plasmas Ford 10.1063/1.5065509 26 2019

상세보기
Rev. Sci. Instrum. Stenzel 10.1063/1.1134487 47 5 1976

상세보기
Japan. J. Appl. Phys. Sugai 10.7567/1347-4065/ab1a43 58 2019

상세보기
Plasma Sources Sci. Technol. Sirse 10.1088/0963-0252/24/2/022001 24 2015

상세보기
Phys. Plasmas Seo 10.1063/1.4996220 24 2017

상세보기
Phys. Plasmas Kim 10.1063/1.4947222 23 2016

상세보기
Phys. Plasmas Kim 10.1063/1.4945640 23 2016

상세보기
Phys. Plasmas You 10.1063/1.4943876 23 2016

상세보기
J. Appl. Phys. Kwon 10.1063/1.3586561 110 2011

상세보기
Rev. Sci. Instrum. Na 10.1063/1.3680103 83 2012

상세보기
Thin Solid Films Kim 10.1016/j.tsf.2012.11.049 547 280 2013

상세보기
Appl. Phys. Lett. Kim 10.1063/1.3634022 99 2011

상세보기
Plasma Sources Sci. Technol. Kim 10.1088/1361-6595/ab1dc8 28 2019

상세보기
Plasma Sources Sci. Technol. Stewart 10.1088/0963-0252/4/1/005 4 36 1995

상세보기
Thin Solid Films Lee 10.1016/s0040-6090(03)00373-0 435 275 2003

상세보기
IEEE Trans. Plasma Sci. Kim 10.1109/tps.2014.2334735 42 10 2014

상세보기
Lieberman 2005
Plasma Sources Sci. Technol. Hollenstein 10.1088/0963-0252/22/5/055021 22 05021 2013

상세보기
Plasma Sources Sci. Technol. Sansonnens 10.1088/0963-0252/6/2/010 6 170 1997

상세보기
Plasma Sources Sci. Technol. Liu 10.1088/1361-6595/aaa86e 27 2018

상세보기
J. Korean Phys. Soc. Jang 10.3938/jkps.55.1869 55 5 2009

상세보기
Phys. Plasmas Sternberg 10.1063/1.4990397 24 2017

상세보기
Appl. Phys. Lett. Kim 10.1063/1.4729442 100 2012

상세보기
Phys. Plasmas Godyak 10.1063/1.4823075 20 2013

상세보기
Chen 1984
Plasma Sources Sci. Technol. Kim 10.1088/1361-6595/aa5fe7 26 2017

상세보기
J. Appl. Phys. Hong 10.1063/1.4986495 121 2017

상세보기

LOADING...

활용도 분석정보

상세보기

다운로드

내보내기

활용도 Top5 논문

해당 논문의 주제분야에서 활용도가 높은 상위 5개 콘텐츠를 보여줍니다.
더보기 버튼을 클릭하시면 더 많은 관련자료를 살펴볼 수 있습니다.

원문 URL 링크

DOI : 10.1088/1361-6595/abc816
Institute of Physics : 저널

*원문 PDF 파일 및 링크정보가 존재하지 않을 경우 KISTI DDS 시스템에서 제공하는 원문복사서비스를 사용할 수 있습니다.

저작권 관리 안내

내보내기 메뉴

내보내기 구분

파일저장
인쇄
메일전송

구성항목

기본정보
상세정보

관리번호, 논문명, 저널/프로시딩명, 저자 , 발행년, 권, 호, 시작페이지, 끝페이지, 발행기관

저장형식

Text(ASCII format)
Excel format
RefWorks Direct Export
RIS format (for Reference Manager, ProCite, EndNote), Scholar's Aids, Mendeley

메일정보

받는사람 (필수): @
보내는사람 (선택): @
제목
내용: KISTI 검색결과 이메일 서비스

안내

총 건의 자료가 검색되었습니다.

다운받으실 자료의 인덱스를 입력하세요. (1-10,000)

검색결과의 순서대로 최대 10,000건 까지 다운로드가 가능합니다.

데이타가 많을 경우 속도가 느려질 수 있습니다.(최대 2~3분 소요)

다운로드 파일은 UTF-8 형태로 저장됩니다.
파일의 내용이 제대로 보이지 않을실 때는 웹브라우저 상단의 보기 -> 인코딩 -> 자동선택 여부를 확인하십시오.

Text(ASCII format)
Excel format

표제어: PCR

동의어: Packet Collision Rate

용어 설명 출처 목록 (6)

용어 설명: PCR은 세균 특이성이 있는 primer를 이용하여 적은 수의 세균이 있을지라도 쉽게 검출할 수 있는 유용한 방법이며, 이를 이용하여 구강 내 치면세균막이나 타액에서 직접 세균을 검출할 수 있게 되었다[8].

AI-Helper ※ AI-Helper는 을 사용합니다.

AI-Helper

안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

연합인증