[논문]Laser-monitored deposition of Parylene thin films

doi:10.1016/0040-6090(75)90138-8

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[해외논문] Laser-monitored deposition of Parylene thin films

Thin solid films, v.26 no.2, 1975년, pp.221 - 226

Taylor, R.C. (IBM Thomas J. Watson Research Center, Yorktown Heights, N.Y. 10598, U.S.A.) , Welber, B. (IBM Thomas J. Watson Research Center, Yorktown Heights, N.Y. 10598, U.S.A.)

Abstract ▼ AI-Helper

AbstractA method has been developed for the deposition of uniform thin films of Parylene C by the use of laser monitoring. By monitoring the reflectivity of metal-coated substrates during growth of the polymer films, effective anti-reflecting coatings have been deposited which have appreciably improved some properties of chalcogenide and Gd-Co alloy films. The optimum conditions for Parylene C film deposition were found by studying the effect of dimer source temperature and system pressure on the deposition rate and film quality and uniformity. These results are reported and the apparatus is described.

참고문헌 (4)

Thin Solid Films White 18 157 1973 10.1016/0040-6090(73)90095-3

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J. Appl. Phys. Welber 45 943 1974 10.1063/1.1663344

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J. Polymer Sci. Gorham 4 3027 1966 10.1002/pol.1966.150041209

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Soc. Plast. Eng. Tech. Pap. Loeb 27 46 1971

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