[논문]Basic characteristics of an electrochemical etching of Ni–Fe containing corrosion resistant alloys

doi:10.1016/j.sna.2003.11.020

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Basic characteristics of an electrochemical etching of Ni–Fe containing corrosion resistant alloys

Sensors and actuators. A, Physical, v.114 no.2/3, 2004년, pp.536 - 542

Mineta, Takashi (Tel.: +81-23-647-3125)

Abstract ▼ AI-Helper

AbstractIn this paper, basic characteristics of an electrochemical etching of corrosion resistant alloys (Inconel, Hasteloy, Incoloy, stainless steel) and other Ni–Fe containing alloys (Permalloy, Kovar) have been studied. All alloys could be electrochemical etched in a LiCl–methanol electrolyte solution. An applied voltage of 8V dc was experimentally determined to be most suitable for etching of narrow mask opening, with high etch factor (etched depth/under-cut), because both high and low applied voltages reduced the etch factor. With a wide opening in the mask, the etched surface was rough and etch profile became W-shape. However, good etching with mirror-like smooth surface could be carried out with a narrow opening for all alloys similarly. Etch rates were 12–14μm/min and etch factors were as high as 1.5 at 20μm mask opening. The electrochemical etching technique has been applied to not only fine patterning, but also wide area etching by using an array of narrow mask windows. The electrochemical etching has also been applied to non-planar micromachining of a cylindrical surface such as rods and pipes made of corrosion resistant alloys.

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참고문헌 (6)

10.1007/978-3-642-59497-7_221 K. Hirata, D.Y. Sim, M. Esashi, Stainless steel-based integrated mass-flow controller for reactive and corrosive gases, in: Proceedings of the Transducers’01, 2001, pp. 962-965.
J. Surf. Finish. Soc. Jpn. Makino 50 7 637 2002 10.4139/sfj.50.637 Fine pattern evolution on metal sheets using electrolytic photochemical machining

상세보기
10.1109/MEMSYS.2002.984281 T. Mineta, Y. Haga, M. Esashi, Electrochemical etching of shape memory alloy using new electrolyte solutions, in: Proceedings of the IEEE MEMS’02, 2002, pp. 376-379.
M. Datta, Fabrication of V-shaped nozzles in metal foils by through-mask electrochemical micromachining, in: Proceedings of the First Symposium on Electrochemical Microfabrication, 1992, pp. 61-79.
J. Electrochem. Soc. West 139-2 499 1992 10.1149/1.2069245 Shape changes during through-mask electrochemical micromachining of thin metal films

상세보기
Y. Tamura, M. Sasaki, K. Hane, A. Ieki, M. Yokoyama, K. Matsui, M. Nashiki, in: Proceedings of the Autumn Meeting of Japanese Society for Precision Engineering, 1999, p.355 (in Japanese).

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