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[국내논문] CO와 H₂ 혼합기체에 대한 Quadrupole Mass Spectrometer의 감도 특성
Characteristics of Quadrupole Mass Spectrometer for Partial Pressure Measurement in CO-H₂ Gas Mixture

韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society, v.2 no.3, 1993년, pp.314 - 318  

신용현 ,  홍승수 ,  정광화

초록
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Quadrupole mass spectrometer는 부분압 측정 및 잔류기체 분석에 널리 이용되고 있는 장비이다. CO, H₂ Ar이 혼합되어 존재할 때 quadrupole mass spectrometer의 감도를 10^(-4)~10^(-8)torr 영역에서 측정하고 단일기체로 존재할 때의 감도와 비교하였다. 그 결과 일정한 부분압을 유지하고 있는 경우라도, 주위 분위기 기체 종류와 분위기 기체 압력에 따라 감도 변화가 심한 것을 알 수 있었다. 따라서 QMS를 부분압 측정이나 조성분석에 이용하기 위해서는 이에 대한 특성조사가 반드시 필요하다.

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

Quadrupole mass spectrometer is a widely used instrument for partial pressure measurement and residual gas analysis. Sensitivities of QMS has been investigated over the pressure range of 10^(-4)~10^(-8)torr for CO, H₂ Ar and their mixed gases. The dependence of the signal developed from a constant ...

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