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NTIS 바로가기Japanese journal of applied physics. Part 2, Letters, v.44 no.1/7 = no.425, 2005년, pp.L78 - L81
Lee, Yong-Hyuk (Department of Materials Sciences & Engineering, Sungkyunkwan University) , Kyung, Se-Jin (Department of Materials Sciences & Engineering, Sungkyunkwan University) , Jeong, Chang-Hyun (Department of Materials Sciences & Engineering, Sungkyunkwan University) , Yeom, Geun-Young (Department of Materials Sciences & Engineering, Sungkyunkwan University)
In this study, the effects of N2 flow rate in the He/O2/N2 gas mixture on the characteristics of a pin-to-plate dielectric barrier discharge (DBD) having the size of 100mm×1000mm have been investigated for the application to flat panel display processing such as photoresist ashing. The pin-to-...
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