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NTIS 바로가기ECS solid state letters : SSL, v.2 no.11, 2013년, pp.P97 - P100
Song, Myung-Geun , Yoon, Bo Un , Lee, Kun-Tack , Choi, Si-Young
Formation of novel dendrite-like defect (DLD) during photoresist (PR)-mask silicon oxide wet etching in semiconductor manufacturing process was observed. It was verified that this kind of defects was composed with organic and inorganic component, which was probably originated from PR residue and flu...
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