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Low Temperature Sintering of PZT 원문보기

Journal of physics. Conference series, v.557 no.1, 2014년, pp.012132 -   

Medesi, A (University of Freiburg, Department of Microsystems Engineering, IMTEK, Georges- Koehler-Allee 102, 79110 Freiburg, Germany) ,  Greiner, T (University of Freiburg, Department of Microsystems Engineering, IMTEK, Georges- Koehler-Allee 102, 79110 Freiburg, Germany) ,  Benkler, M (University of Freiburg, Department of Microsystems Engineering, IMTEK, Georges- Koehler-Allee 102, 79110 Freiburg, Germany) ,  Megnin, C (University of Freiburg, Department of Microsystems Engineering, IMTEK, Georges- Koehler-Allee 102, 79110 Freiburg, Germany) ,  Hanemann, T (University of Freiburg, Department of Microsystems Engineering, IMTEK, Georges- Koehler-Allee 102, 79110 Freiburg, Germany)

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

This paper describes the fabrication and characterization of lead zirconate titanate (PZT) films fired in a liquid-phase sintering process at 900 °C in air. In detail the manufacturing of piezoelectric multilayers with internal pure silver (Tm = 961 °C) electrodes are reported. The feasibi...

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