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Impact of strain on hole mobility in the inversion layer of PMOS device with SiGe alloy thin film

Thin solid films, v.584, 2015년, pp.135 - 140  

Cheng, S.-Y. (Corresponding author.) ,  Chen, K.-T. ,  Chang, S.T.

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

Abstract Advanced MOSFET devices formed from Si-based materials, such as silicon-germanium alloys, are simple and low cost to manufacture. This work focuses on hole mobility in the inversion layer of PMOSFETs using alloy channel materials. The primary topic of this work is the theoretical calculati...

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참고문헌 (26)

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