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NTIS 바로가기Electronics letters, v.52 no.6, 2016년, pp.468 - 470
Lee, J. (ETRI, Republic of Korea) , Jeon, J.H. (ETRI, Republic of Korea) , Kim, Y.-G. (ETRI, Republic of Korea) , Lee, S.Q. (ETRI, Republic of Korea) , Yang, W.S. (KAIST, Republic of Korea) , Lee, J.S. (KAIST, Republic of Korea) , Lee, S.-G.
A capacitive-type MEMS acoustic sensor with a planarised TiN/plasma-enhanced chemical vapour deposition -Si3N4/TiN diaphragm based on a polyimide sacrificial layer is presented. The multi-layer diaphragm has the effective residual stress of +31.5 MPa. Furthermore, this sensor features a 21% lower pa...
Sens. Actuators A Scheeper P.R. 1 44 1994 10.1016/0924-4247(94)00790-X A review of silicon microphones
Sens. Actuators A Torkkeli A. 116 85 2000 10.1016/S0924-4247(00)00336-8 Capacitive microphone with lowstress polysilicon membrane and highstress polysilicon backplate
Electron. Lett. Lee J. 866 48 2012 10.1049/el.2012.1781 Thin MEMS microphone based on packageintegrated fabrication process
J. Micromech. Microeng. Tilmans H.A.C. 157 9 1996 10.1088/0960-1317/6/1/036 Equivalent circuit representation of electromechanical transducers: I. lumpedparameter systems
J. Micromech. Microeng. Chuang W.C. 1 22 2012 The fringe capacitance formula of microstructures
Thin Solid Films Vijgen R.O.E 266 270 1995 Mechanical measurement of the residual stress in thin PVD films
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