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Adaptive model-based feedforward to compensate Lorentz force variation of voice coil motor for the fine stage of lithographic equipment

Optik, v.135, 2017년, pp.27 - 35  

Wang, X. ,  Yang, B. ,  Zhu, Y.

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

This paper presents an adaptive model-based feedforward combined with PID feedback controller based on model identification to compensate the variation of the Lorentz force. In the previous work, we applied an analytical model to calculate the magnetic flux density and Lorentz force for the rectangu...

주제어

참고문헌 (18)

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