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[해외논문] Micro cell array on silicon substrate using graphene sheet

Materials letters, v.196, 2017년, pp.385 - 387  

Son, Hyeong-Guk (Department of Medical IT Convergence Engineering, Kumoh National Institute of Technology, Gumi 39177, South Korea) ,  Oh, Hong-Gi (Department of Medical IT Convergence Engineering, Kumoh National Institute of Technology, Gumi 39177, South Korea) ,  Park, Young-Sang (Medical Device Development Center, Daegu-Gyeongbuk Medical Innovation Foundation, Daegu 41061, South Korea) ,  Kim, Dae-Hoon (Department of Medical IT Convergence Engineering, Kumoh National Institute of Technology, Gumi 39177, South Korea) ,  Lee, Da-Som (Department of Medical IT Convergence Engineering, Kumoh National Institute of Technology, Gumi 39177, South Korea) ,  Park, Woo-Hwan (Department of Medical IT Convergence Engineering, Kumoh National Institute of Technology, Gumi 39177, South Korea) ,  Kim, Hyung Jin (Biomedical IT Convergence Center, Gumi Electronics and Information Technology Research Institute, Gumi 39177, South Korea) ,  Cho, Seung-Min (Hanwha Techwin R&D Center, Seongnam-si, Gyeonggi-do 13488, South Korea) ,  Lim, Ki Moo (Department of Medical IT Convergence Engineering, Kumoh National Institute of Technology, Gumi 39177, South Korea) ,  Song, Kwang Soup

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

To fabricate micro-patterns for bioengineering applications, we used graphene sheet, metal mask, and plasma treatment rather than the commonly used photolithography process. Two types of micropatterns were fabricated (line, and circle) on SiO2/Si (100, p-typed) substrate. In the line and circle micr...

주제어

#Cell array   #Fluorination   #Graphene   #Passivation layer   #Plasma treatment  

참고문헌 (14)

  1. Nanoscale Res. Lett. Benson 10 127 2015 10.1186/s11671-015-0835-1 

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  3. Annu. Rev. Biomed. Eng. Heller 4 129 2002 10.1146/annurev.bioeng.4.020702.153438 

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  14. Sensors Rezek 9 3549 2009 10.3390/s90503549 

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