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GAAFET Versus Pragmatic FinFET at the 5nm Si-Based CMOS Technology Node 원문보기

IEEE journal of the Electron Devices Society, v.5 no.3, 2017년, pp.164 - 169  

Huang, Ya-Chi (Department of Electrical Engineering, Institute of Microelectronics, National Cheng Kung University, Tainan, Taiwan) ,  Chiang, Meng-Hsueh (Department of Electrical Engineering, Institute of Microelectronics, National Cheng Kung University, Tainan, Taiwan) ,  Wang, Shui-Jinn ,  Fossum, Jerry G.

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

Speed and power performances of Si-based stacked-nanowire gate-all-around (GAA) FETs and pragmatic ultra-thin-fin FETs at the 5nm CMOS technology node are projected, compared, and physically explained based on 3-D numerical simulations. The respective device domains are also used to compare integrat...

참고문헌 (22)

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