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NTIS 바로가기Diffusion and defect data. SSP. [Pt. B], Solid state phenomena, v.255, 2016년, pp.291 - 296
Capecchi, Simone (GLOBALFOUNDRIES) , Atanasova, Tanya (GLOBALFOUNDRIES) , Willeke, Reiner (GLOBALFOUNDRIES) , Parthenopoulos, Michael (Fraunhofer IZM, ASSID) , Pizzetti, Christian (Technic France) , Daviot, Jerome (Technic France)
This paper demonstrates how a low undercut Ti etchant developed by Technic France can be successfully introduced in a high volume manufacturing Fab for etching the under bump metallization (UBM). The Ti etchant has been tested on 300mm wafer production equipment in GLOBALFOUNDRIES. The Ti etchant ev...
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