[논문]Laser assisted fabrication of micro-lens array and characterization of their beam shaping property

Sohn, Ik-Bu; Choi, Hun-Kook; Noh, Young-Chul; Kim, Jongyeol; Ahsan, Md. Shamim

doi:10.1016/j.apsusc.2019.02.083

Laser assisted fabrication of micro-lens array and characterization of their beam shaping property

Applied surface science, v.479, 2019년, pp.375 - 385

Sohn, Ik-Bu (Advanced Photonics Research Institute (APRI), Gwangju Institute of Science and Technology (GIST)) , Choi, Hun-Kook (Advanced Photonics Research Institute (APRI), Gwangju Institute of Science and Technology (GIST)) , Noh, Young-Chul (Advanced Photonics Research Institute (APRI), Gwangju Institute of Science and Technology (GIST)) , Kim, Jongyeol (Korea Atomic Energy Research Institute (KAERI)) , Ahsan, Md. Shamim (Electronics and Communication Engineering Discipline, Khulna University)

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Abstract This paper demonstrates the formation of high-fill-factor plano-convex cylindrical and dome-type micro-lens arrays on fused silica glass surface using CO2 laser assisted reshaping technique. Cylindrical micro-lens array is fabricated by polishing the femtosecond laser engraved linear micro-gratings by a CO2 laser beam. Initially, a femtosecond laser beam has been irradiated on the surface of the fused silica glass samples to fabricate periodic micro-gratings on the glass surface. Afterwards, these micro-gratings encoded glass samples are polished several times by a CO2 laser beam. As a result, plano-convex cylindrical micro-lens arrays with the lens period varying from 20 μm to 50 μm are developed on the glass surface. Similarly, dome-type micro-lens array is achieved by femtosecond laser assisted fabrication of periodic micro-pillars followed by several times CO2 laser polishing. We report the formation of a large variety of dome-shape micro-lens array with lens size varying from 20 μm × 20 μm to 50 μm × 50 μm. The fabricated micro-lenses show great consistency in size and shape throughout the sample area. We also investigate the intensity distribution of light passed through the micro-lens engraved glass samples. Using the dome-type micro-lens array engraved glass samples, a Gaussian laser beam has been converted to a flat-top laser beam for selective patterning of a thin indium-tin-oxide coating from fused silica glass surface. Highlights We demonstrates the formation of high-fill-factor plano-convex cylindrical and dome-type micro-lens arrays on fused silica glass surface using CO2 laser assisted reshaping technique. Plano-convex cylindrical micro-lens arrays with a period varying from 20 to 50 μm have been formed on the fused silica glass surface. Using the dome-type micro-lens array engraved glass samples a Gaussian laser beam has been converted to flat-top beam for selective patterning of a thin indium-tin-oxide coating from fused silica glass sample.

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Adv. Mater. Kurland 25 6207 2013 10.1002/adma.201302823

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Microelectron. Eng. Lin 98 194 2012 10.1016/j.mee.2012.07.037

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Appl. Phys. A Mater. Sci. Process. Vass 87 611 2007 10.1007/s00339-007-3891-2

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Appl. Surf. Sci. Kuang 258 7601 2012 10.1016/j.apsusc.2012.04.099

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J. Non-Cryst. Solids Ahsan 357 851 2011 10.1016/j.jnoncrysol.2010.11.006

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J. Laser Micro/Nanoeng. Ahsan 9 19 2014 10.2961/jlmn.2014.01.0005

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Appl. Phys. A Mater. Sci. Process. Domas 104 769 2011 10.1007/s00339-011-6428-7

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Optik Sohn 126 4285 2015 10.1016/j.ijleo.2015.08.142

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J. Opt. Soc. Korea Choi 19 327 2015 10.3807/JOSK.2015.19.4.327

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Opt. Laser Technol. Choi 75 63 2015 10.1016/j.optlastec.2015.05.022

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