[논문]Rapid Thermal Transformation of A-15 Crystal Structure Metallic Thin Films

O'Keefe, M. J.; Cerny, C. L.

doi:10.1557/proc-387-377

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[해외논문] Rapid Thermal Transformation of A-15 Crystal Structure Metallic Thin Films

Materials Research Society symposia proceedings, v.387, 1995년, pp.377 -

O'Keefe, M. J. , Cerny, C. L.

Abstract ▼ AI-Helper

AbstractPhysical vapor deposition of Group VI elements (Cr, Mo, W) can lead to the formation of a metastable A-15 crystal structure under certain processing conditions. Typically, a thermally induced transformation of the metastable A-15 structure into the equilibrium body centered cubic structure has been accomplished by conventional furnace annealing at T/Tm≈ 0.3 from tens of minutes to several hours. In this study we report on the use of rapid thermal annealing to transform sputter deposited A- 15 crystal structure tungsten and chromium thin films into body centered cubic films within the same temperature range but at times on the order of one minute. The minimum annealing times and temperatures required for complete transformation of the A-15 phase into the BCC phase varied from sample to sample, indicating that the transformation was dependent on the film characteristics. The electrical resistivity of A-15 Cr and W films was measured before and after rapid thermal annealing and was found to significantly decrease after transformation into the body center cubic phase.

참고문헌 (8)

Petroff, P., Sheng, T. T., Sinha, A. K., Rozgonyi, G. A., Alexander, F. B.. Microstructure, growth, resistivity, and stresses in thin tungsten films deposited by rf sputtering. Journal of applied physics, vol.44, no.6, 2545-2554.

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Met. Trans. 5 155 1974 10.1007/BF02642939 Morcom

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Kimoto, Kazuo, Nishida, Isao. An Electron Diffraction Study on the Crystal Structure of a New Modification of Chromium. Journal of the Physical Society of Japan, vol.22, no.3, 744-756.

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Weerasekera, I. A., Shah, S. Ismat, Baxter, David V., Unruh, K. M.. Structure and stability of sputter deposited beta-tungsten thin films. Applied physics letters, vol.64, no.24, 3231-3233.

상세보기
Saito, Y., Yatsuya, S., Mihama, K., Uyeda, R.. Crystal structure and habit of fine metal particles formed by gas-evaporation technique; bcc metals (V, Fe, Cr, Mo and W). Journal of crystal growth, vol.45, 501-505.

상세보기
8. O'Keefe M. J. , Grant J. T. and Solomon J. S. , J. Elect. Mat. (accepted).
O'Keefe, M.J.. Effect of oxygen and carbon on the formation and stability of A-15 crystal structure chromium thin films. Thin solid films, vol.247, no.2, 169-177.

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Masashi Arita, Isao Nishida. Tungsten Films with the A15 Structure. Japanese journal of applied physics. Part 1, Regular papers, short notes and review papers, vol.32, no.no.part, 1759-.

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