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마킹과 품질검사의 동시 처리 비젼 시스템의 개발
Built-in CPVS(Concurrent Processing Vision System) of the marking and quality inspection 원문보기

2001 가을 학술발표논문집(II)(Proceedings of the 28th KISS Fall Comference), 2001 Oct., 2001년, pp.397 - 399  

박화규 (고려대학교 전자공학과) ,  채규열 (고려대학교 전자공학과) ,  구한서 (고려대학교 전자공학과) ,  이윤석 (고려대학교 전자공학과) ,  정창성 (고려대학교 전자공학과)

초록
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레이저를 이용한 마킹(marking) 시스템은 미러(mirror)를 움직이는 XY Scanner안 모터의 Thermal drift로 인한 오차와 laser 오류에 의해 마킹의 불량을 초래하게 된다. 따라서, 이 마킹 불량을 검사하기 위해 마킹 시스템에는 비젼(Vision)을 이용한 검사 장비가 탑재된다. 현재 웨이퍼 마킹기나 다른 마킹기의 비젼시스템은 후검사(post vision) 시스템을 도입하고 있다. 하지만, 후검사 시스템의 경우 마킹이 잘못되었을 때, 바로 마킹을 중지하지 못하고 적어도 한 단위 마킹(tray, 웨이퍼, Strip, PCB 등등)을 망치게 되고, 만일 마킹 대상물이 고가인 경우 상당한 금액의 손실을 가져오는 단점을 가지고 있다. 이러한 단절을 보완하기 위해 본 논문에서는 CPVS(Concurrent Processing Vision System)라는 시스템을 구현하였다. 이 시스템은 마킹과 마킹 품질검사를 동시에 병행함으로써 마킹이 잘못되었을 때 마킹을 중단하게 되어 더 이상의 손실이 나지 않게 하고 후처리 검사 시스템으로의 이송과정을 생략함으로써 processing time을 줄이고, 생산성을 높인다는 장점을 가지게 된다. 이 시스템의 구현은 Visual C++의 MFC 라이브러리를 사용한 MDI구조로 구현하였다.

AI 본문요약
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문제 정의

  • 이 소프트웨어는 마킹기와의 통신을 통해 마킹과 동시에 마킹 품질 검사를 수행하며, 불량이 검출된 경우 마킹기에 마킹 중지 신호를 보내고, 불량 항목(N。 marking, double marking, partial marking)을 조人] 표시한다. 본 시스템의 실험에서는 저해상도 카메라를 이용해 얻은 이미지로 마킹 품질 검사 성능의 적절성 이부와 검사 처리시간(processing time)의 효율성 측정을 목적으로 하고, 만일 전수검사를 시행한다면, 과도한 거사 시간으로 인해 공정 전체의 효율을 떨어뜨리게 되므虽 Sampling 검사를 주 목표记 하였다. 본 논문의 시스테실험에 사용된 컴퓨터의 사양은 펜티엄Ⅲ 500Mh, 래 192M 였다.
  • 사용한 MDI구조로 구현하였다. 이 시스템의 주요목적은 XY scanner를 제어하여 180mmxl80mm의 tray 마킹 영역을 검사할 수 있는 vision system의 소프트 웨어이다. 이 소프트웨어는 마킹기와의 통신을 통해 마킹과 동시에 마킹 품질 검사를 수행하며, 불량이 검출된 경우 마킹기에 마킹 중지 신호를 보내고, 불량 항목(N。 marking, double marking, partial marking)을 조人] 표시한다.
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