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NTIS 바로가기대한전기학회 1993년도 하계학술대회 논문집 B, 1993 July 18, 1993년, pp.1180 - 1182
서강원 (명지 대학교) , 백광균 (명지 대학교) , 권정열 (명지 대학교) , 이철진 (고려 대학교) , 정창경 (명지 대학교) , 이헌용 (명지 대학교)
In this paper, studing for the formative characterizations, bonding structures and hydrogen atom content in layer that oxynitride films deposited by Plasma CVD was investigated adaptive possibility for intemediate layer or final passivation layer of ULSI semiconductor devices....
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