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졸겔법에 의한 박막형 습도센서 소제개발에 관한 연구(II)
A Study on the Development of Thin Film Type Humidity Sensor Materials by Sol-Gel Method(II) 원문보기

대한전기학회 1994년도 하계학술대회 논문집 C, 1994 July 21, 1994년, pp.1472 - 1474  

유도현 (인하대 전기공학과) ,  강대하 (부산공업대 전기공학과) ,  나동근 (목포전문대 전기과) ,  황명환 (인천대 산업안전공학과) ,  육재호 (유한전문대 전기과) ,  이덕출 (인하대 전기공학과)

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

In this paper, $TiO_2-V_2O_5$ thin films are fabricated by Sol-Gel method and their humidity-sensing characteristics have been investigated. The microstructure of specimen is porous. The humidity-sensing characteristics of thin films are good according to increasing heat treatment tempera...

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