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NTIS 바로가기대한전기학회 1996년도 하계학술대회 논문집 C, 1996 July 22, 1996년, pp.1492 - 1494
김동주 (강원대학교 공과대학 화학공학과) , 김교선 (강원대학교 공과대학 화학공학과)
We have studied the generation, growth and behavior of chemical species and particles in silane PCVD. We included the plasma chemistry of silane, particle nucleation by homogeneous formation, acrosol dynamics and transport phenomena of chemical species and particles. The concentration profile of che...
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