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Si 미립자 함유 폐수의 UF 투과 특성
UF Separation of the Waste Water Containing Silicon Fine Particle 원문보기

한국막학회 1997년도 추계 총회 및 학술발표회, 1997 Oct. 01, 1997년, pp.129 - 130  

이석기 (동안엔지니어링(주) 부설연구소) ,  김우정 (동안엔지니어링(주) 부설연구소) ,  전재홍 (동안엔지니어링(주) 부설연구소) ,  곽순철 (동안엔지니어링(주) 부설연구소) ,  남석태 (경일대학교 화학공학과) ,  최호상 (경일대학교 화학공학과)

초록
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1. 서론 : 반도체 제조공정중 wafer가공 공정에 사용되는 많은 양의 RO 초순수는 미세한 규소입자를 비롯하여 비교적 낮은 농도의 불순물을 포함하고 있으나, 현재 1차세정후 공정폐수로 전량 희석되어 폐기되고 있다. 반도체 제조공정에서 발생되는 이러한 세정폐수를 적절한 전처리와 분리막 처리를 통하여 유가물질인 Si 입자를 회수하고, 처리수를 재이용함으로써 환경오염의 감소 및 공업용수의 증대를 도모할 수 있다. 본 연구에서는 고분자 분리막을 이용하여 반도체 제조공정중 발생한 세정중의 유가물질인 Si를 회수하고, 용수를 재이용하기 위하여 한외여과용 평막을 제조하여 Si 함유 폐수에 대한 막성능을 평가하였으며, 또한 상용 tubular 및 hallow fiber막의 성능과도 비교하였다.

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