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NTIS 바로가기한국전기전자재료학회 2000년도 추계학술대회 논문집, 2000 Nov. 01, 2000년, pp.571 - 574
이성준 (경원대학교 전기전자공학과) , 신영화 (경원대학교 전기전자공학과) , 윤영수 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터) , 조원일 (한국과학기술연구원 전지,연료전지센터)
In this study, Tin oxide thin film for secondary battery was deposited on Pt/Ti/Si(100). It was fabricated by r.f. reactive sputtering with Tin metal target. At constant power (130W), pressure (Base 5
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