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NTIS 바로가기제어로봇시스템학회 1997년도 한국자동제어학술회의논문집; 한국전력공사 서울연수원; 17-18 Oct. 1997, 1997 Oct. 01, 1997년, pp.1485 - 1488
차상엽 (연세대학교 기계전자공학부) , 이석주 , 우광방
The capacity of memory chip has increased vert quickly and 64MDRAM becomes main product in semiconductor manufacturing lines consists of many sequential processes, including etching process. although it needs direct sensing of wafer state for the accurae detching, it depends on indirect esnsing and ...
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