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제안 방법
- 본 논문에서는 마이크로머시닝기술을 이용하여 미세 프레넬 렌즈(micro Fresnel lens)가 집적된 2자 유도의 정밀 구동기를 설계 및 제작하였다(그림 1). 구동기에 집적된 미세 렌즈는 8단으로 양자화 (quantizing)된 이진 렌즈(binary lens)로서'" 3mni의 초점거리에 직경 246/zm이며, 유리를 이진 사진식각공정(binary photolithography)으로 가공하여 제작하였다(그림 2). 정밀 구동기는 x축 및 y축의 수직한 두 단위방향의 구동력을 갖는 xy-스테이지(stage)구조로서(2) 스테이지 중앙에 집적된 미세 프레넬 렌즈를 2차원 평면상의 임의의 좌표에 위치시킬 수 있도록 설계되었으며, 실리콘 몸체가공 (bulk micromachining)을 이용하여 고형상비의 빗모양 전극(comb electrode)을 갖는 양방향 구동이 가능한 두 개의 빗모양 구동기(comb actuator)가 직교하도록 기계적으로 결합된 구조로 제작되었다(그림 3).
- 정밀 구동기는 x축 및 y축의 수직한 두 단위방향의 구동력을 갖는 xy-스테이지(stage)구조로서(2) 스테이지 중앙에 집적된 미세 프레넬 렌즈를 2차원 평면상의 임의의 좌표에 위치시킬 수 있도록 설계되었으며, 실리콘 몸체가공 (bulk micromachining)을 이용하여 고형상비의 빗모양 전극(comb electrode)을 갖는 양방향 구동이 가능한 두 개의 빗모양 구동기(comb actuator)가 직교하도록 기계적으로 결합된 구조로 제작되었다(그림 3). 또한 제작시에 유리와 양극접합(anodic bonding)된 실리콘기판을 사용하여 미세 프레넬 렌즈를 유리면에 형성하고 정밀 구동기를 형성된 미세 프레넬 렌즈에 양면 정렬하여 실리콘 기판면에 형성함으로써 자동으로 집적되도록 하였다(그림 4).
- 본 논문에서는 마이크로머시닝기술을 이용하여 미세 프레넬 렌즈(micro Fresnel lens)가 집적된 2자 유도의 정밀 구동기를 설계 및 제작하였다(그림 1). 구동기에 집적된 미세 렌즈는 8단으로 양자화 (quantizing)된 이진 렌즈(binary lens)로서'" 3mni의 초점거리에 직경 246/zm이며, 유리를 이진 사진식각공정(binary photolithography)으로 가공하여 제작하였다(그림 2).
- 구동기에 집적된 미세 렌즈는 8단으로 양자화 (quantizing)된 이진 렌즈(binary lens)로서'" 3mni의 초점거리에 직경 246/zm이며, 유리를 이진 사진식각공정(binary photolithography)으로 가공하여 제작하였다(그림 2). 정밀 구동기는 x축 및 y축의 수직한 두 단위방향의 구동력을 갖는 xy-스테이지(stage)구조로서(2) 스테이지 중앙에 집적된 미세 프레넬 렌즈를 2차원 평면상의 임의의 좌표에 위치시킬 수 있도록 설계되었으며, 실리콘 몸체가공 (bulk micromachining)을 이용하여 고형상비의 빗모양 전극(comb electrode)을 갖는 양방향 구동이 가능한 두 개의 빗모양 구동기(comb actuator)가 직교하도록 기계적으로 결합된 구조로 제작되었다(그림 3). 또한 제작시에 유리와 양극접합(anodic bonding)된 실리콘기판을 사용하여 미세 프레넬 렌즈를 유리면에 형성하고 정밀 구동기를 형성된 미세 프레넬 렌즈에 양면 정렬하여 실리콘 기판면에 형성함으로써 자동으로 집적되도록 하였다(그림 4).
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