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제안 방법
- 그림 2는 RF 출력이 증가할 경우 면저항이 君소하는 것을 보여주고 있다. AFM을 이용해 TiN 박막의 두께를 측정하여 비저항을 계산하였다. 비 好 항 역시 RF 출력이 증가하면 감소하는 것을 보여주고 있다.
- EF 출력에 따른 TiN 박막 면저항의 변화를 조사하였다. 그림 2는 RF 출력이 증가할 경우 면저항이 君소하는 것을 보여주고 있다.
- 광학박막의 증착에 있어서는 박막의 물성과 함께 두께 조절이 매우 중요하며, 증착율을 조절하는 것 도 중요하다. 따라서 AFM을 이용하여 박막의 두께를 측정하여 TiN 박막의 증착율을 계산하였다. 그림 1 (a)는 RF 출력에 따른 증착율의 변화를 보여준다.
- 서로 다른 RF 출력(240, 360 W)에서 증착한 TiN 박막 위에 동한 SiC)2를 증착하여 2층 무반사 코팅 을 증착하였다. 그림 4는서로 다른 RF 출력에서 증착한 TiN 박막의 반사율과 투과율이다.
- 이처럼 무반사 박 막에 적합한 복소수 굴절률의 분산을 갖는 얇은 두께의 TiN 박막의 최적 증착 조건을 결정하면 3층 이상을 증착해야 하는 ITO 경우와는 달리 2층으로 무반사 무정전 박막을 실현 할 수 있다. 위와 같이 무반사 무정전 코팅 에 이 용되는 얇은 전도성 TiN 박막을 RF 마그네트론 방법으로 제작하였 고, 특히 본 연구에서는 RF 줄력을 180 - 360 W로 변화시키며 이에 따른 박막의 물리적, 광학적, 전기적, 화학적 특성을 조사하였다.
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