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PECVD에 의한 다이아몬드성 탄소박막의 증착기구에 관한 연구 원문보기

한국진공학회 1994년도 제7회 학술발표회 및 한·일 CVD 심포지움 논문개요집, 1994 June 01, 1994년, pp.54 - 69  

김한 (서울대학교 금속공학과) ,  주승기 (서울대학교 금속공학과)

초록
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메탄을 원료가스로 하여 ppECVD에 의해 다이아몬드성 탄소(DLC) 박막을 형성하였 으며 이 때 인가전력의 크기 및 주파수 그리고 보조가스의 종류가 opptical band gapp의 크 기에 미치는 영향에 대하여 연구하였다. DLC 박막의 opptical band gapp은 증착되는 이온의 에너지가 증가할수록 감소하였으며, 불활성 기체를 보조가스로 사용하는 경우 인가전력에 따른 opptical band gapp의 크기가 큰 폭으로 심화되었다. 수소를 보조가스로 사용한 경우는 높은 인가전력(100W)에서 opptical band gapp이 증가하는 것으로 밝혀졌으며 본 연구에서 새로이 제안된 증착기구의 모델에 의해 적절한 설명이 가능하였다.

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