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NTIS 바로가기한국진공학회 2000년도 제18회 학술발표회 논문개요집, 2000 Feb. 01, 2000년, pp.181 - 181
배근희 (KAIST 물리학과) , 김성식 (KAIST 물리학과) , 홍정인 (삼성전자) , 장홍영 (KAIST 물리학과)
최근 반도체 공정에 있어 0.2
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