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NTIS 바로가기한국소음진동공학회 1994년도 추계학술대회논문집; 한국종합전시장, 18 Nov. 1994, 1994 Oct. 01, 1994년, pp.52 - 57
이홍기 (유니슨산업㈜부설 유니슨기술연구소) , 권형오 (유니슨산업㈜부설 유니슨기술연구소) , 김두훈 (유니슨산업㈜부설 유니슨기술연구소)
본 논문에서는 실험적 모우드해석법을 이용하여 현재, 국내에서 가동 또는 건설 중인 반도체공장의 세가지 유형에 대한 격자보의 동적특성을 분석, 결정하고 이를 격자보의 동적설계에 활용하고자 한다.
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