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Explosive mass-removal processes during high power nanosecond Nd-YAG laser ablation of silicon
나노초 야그 레이저 어블레이션에 의한 실리콘의 폭발적 제거 현상 원문보기

대한기계학회 2000년도 추계학술대회논문집A, 2000 Nov. 02, 2000년, pp.736 - 742  

Jeong, S.H. (Kwangju Institute of Science and Technology, Department of Mechatronics) ,  Yoo, J.H. (Lawrence Berkeley National Laboratory) ,  Grief, R. (University of California at Berkeley) ,  Russo, R.E. (Lawrence Berkeley National Laboratory)

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Mass removed from crystalline silicon samples during high power single-pulse laser ablation was studied by measuring the resulting crater morphology with a white light interferometric microscope. The volume and depth of the craters show a strong nonlinear change as the laser irradiance increases acr...

AI 본문요약
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제안 방법

  • The laser fluence ranged from 5 to 400 J/cm2, which results in irradiance of approximately IxlO9 to IxlO11 W/cm2. All experiments in this work were conducted using a single laser pulse on a fresh surface location. The morphology, depth, and volume of the craters were measured with a white light interferometric microscope (Zygo, Model NewView 200).
  • In this work, ablation of polished pure silicon samples during laser inadiation (109-10H /cm2) was investigated by measuring the crater characteristics. Laser shadowgraphy was used to image the ejected mass from the surface, to approximately estimate its size, and to infer the time scale for the onset of mass ejection.
  • Mass removed by high irradiance (109-10n W/cm2) laser ablation on pure silicon was investigated by measuring the crater morphology with a white light interferometric microscope and imaging the mass Section from the sample surface using shadowgraphy. The crater morphology shows a dramatic increase in crater depth at 2.

대상 데이터

  • The laser pulse energy delivered to the target was measured with a pyroelectric detector and a calibrated joulemeter by collecting a known fraction of the laser beam with a beam splitter (BS2). A polished single crystal silicon wafer (99.99% purity) diced to 1x2 cm rectangular pieces was used as the ablation sample. The laser fluence ranged from 5 to 400 J/cm2, which results in irradiance of approximately IxlO9 to IxlO11 W/cm2.
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