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세라믹 다이어프램을 이용한 후막 압력센서
Using Ceramic Diaphragm for Thick Film Pressure Sensor 원문보기

대한전기학회 2001년도 하계학술대회 논문집 C, 2001 July 18, 2001년, pp.1360 - 1362  

이성재 (대림대학 자동화시스템공학과) ,  민남기 (고려대학교 제어계측공학과) ,  박하용 (삼척대학교 전기공학과)

초록
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본 논문에서는 다이어프램을 세라믹을 사용하여 2차 변환 소자로 금속 스트레인 게이지 대신에 thick film piezoresistor를 이용한 후막 압력센서에 관한 연구이다. 다이어프램의 미소 변형을 후막의 비저항 변화로 검출하는 압저항 효과를 이용하는 방식이다. 종래의 압력센서와 비교하여 크리프 현상이 적고, 안정성이 우수한 특징을 갖고 있다. 또한 저항선이나 박 게이지의 게이지율이 3$\sim$5 인 것이 비하면 후막저항을 사용한 경우, 약 15$\sim$20정도의 높은 게이지율을 얻을 수 있어서 측정범위를 넓게 할 수 있으며, 후막공정의 스크린 프린팅을 통한 자동화는 수율의 향상과 저 가격화를 실현할 수 있다. 또, 후막 저항형 압력센서는 두 개의 저항이 다이어프램의 중앙 부근에 위치하며, 나머지 두 개의 저항은 가장자리에 위치시킴으로써 미소 변형에서도 저항값의 변화를 읽을 수 있도록 하였고, 휘스톤 브리지의 연결 도체부는 Pt를 주성분으로 하는 conductive paste(DHC7085)를 사용하였다. 이렇게 설계.제작된 압력 센서를 지지대에 고정시킨 후 캡슐에 넣고 감도, 선형성, 히스테리시스 그리고 온도특성 등을 고찰하였다.

AI 본문요약
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문제 정의

  • 본 논문에서는 다이어프램으로 세라믹을 사용하였고 2 차 변환 소자로 금속 스트레인 게이지 대신에 thick film piezoresisSr를 이용한 후막 압력센서에 관한 연구이다. 수압부로 사용되는 세라믹 다이어프램(ceramic diaphragm) 위에 RuCh를 주 성분으로 하는 후막 저항 (thick film resistors:DHR7313)> 형성하고, 인가된 압력에 의해 나타나는 다이어프램의 미소 변형을 후막의 비저항 변화로 검출하는 piezaresistive 효과를 이용하는 방식이다.
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