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NTIS 바로가기대한전기학회 2001년도 하계학술대회 논문집 C, 2001 July 18, 2001년, pp.1393 - 1395
장석모 (한양대학교 전자전기제어계측 공학과) , 박창균 (한양대학교 전자전기제어계측 공학과) , 엄현석 (한양대학교 전자전기제어계측 공학과) , 박진석 (한양대학교 전자전기제어계측 공학과)
DLC films are deposited by using a modified FCVA system. Carbon amorphous network, surface roughness, internal compressive stress, resistivity, and Hall mobility are studied as a function of nitrogen flow rate (0
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