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[국내논문] 요소센서를 위한 은/염화은 박막 기준전극의 특성
Characteristics of Ag/AgCl Thin Film Reference Electrode in Urea Sensors 원문보기

대한전기학회 2001년도 하계학술대회 논문집 C, 2001 July 18, 2001년, pp.1911 - 1913  

진준형 (고려대학교) ,  강철구 (고려대학교) ,  강문식 (고려대학교) ,  민남기 (고려대학교) ,  홍석인 (고려대학교)

초록
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전위차 측정형 바이오 센서는 기준전극에 대한 센서 전극의 전기화학적 전위를 정확하게 측정하여야 하므로 기준전극의 안정성이 매우 중요하다. 기준전극의 전위는 전해질 용액 내의 염소 음이온 농도에 영향을 받으나 다행히도 혈액 내의 염소 음이온 농도는 거의 변화가 없으므로 혈액 속에서의 은/염화은 기준전극의 전위도 거의 변화가 없다. 본 연구에서는, 사진석판 (Photolithography) 공정을 이용하여 실리콘 표면 및 다공질 실리콘 표면에 은/염화은 박막 기준전극을 제작하고 시료 용액에서의 drift, 안정성, 재현성 등에 대한 특성을 고찰하였고, SEM, AES, EDX 스펙트럼 등을 이용하여 전극의 표면을 분석하였다. 시료 용액의 염소 음이온 농도를 $10^{-4}$M에서 1M까지 변화시켜가며 기준 전극의 전위를 측정한 결과 약 50mV/pCl의 기울기를 얻었으며 이것은 Nernst식을 잘 따르는 결과이다.

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문제 정의

  • 본 논문에서는 반도체를 이용한 마이크로 바이오 센서에 응용하기 위한 기초 실험으로서, PS 표면에 Ag/AgCI TFRE를 형성시키고 Scanning Electron Microscopy (SEM). Auger Electron Spectroscopy (AES), Energy Dispersive X-ray Spectroscopy (EDX)를 이용한 표면 분석 및 염소 음이온의 농도에 따른 전극 전위의 특성을 고찰하였다.
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