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정전용량형 고분자 습도센서
Capacitive Polymer Humidity Sensor 원문보기

대한전기학회 2003년도 하계학술대회 논문집 C, 2003 July 21, 2003년, pp.1511 - 1513  

임창섭 (대양전기공업(주)) ,  곽광종 (대양전기공업(주)) ,  강문식 (고려대학교) ,  민남기 (고려대학교)

초록
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본 논문에서는 polyimide를 감습물질로 한 정전용량형 정밀습도센서를 개발하여 실용화한 결과를 보고한다. 유리기판에 제작된 습도센서는 상대습도 11%RH${\sim}$96%RH 범위에서 다음과 같은 특성을 나타내었다. 감도; 0.5689 pF/%RH, 비선형성; 1.5%RH 미만, 히스테리시스; 약 1.5%RH, 감도특성의 온도 의존성; 0.08pF/$^{\circ}C$, 주파수 특성; 10, 100kHz에서 직선적.

AI 본문요약
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문제 정의

  • 본 논문에서는 물리적 및 화학적 특성이 우수한 polyimide를 감습재료로 사용한 정전용량형 습도 센서의 개발 결과를 보고한다.
  • 본 연구는 정전용량형 고분자 습도센서의 독자적인 기술력과 생산기반을 구축하여 국내 습도센서 시장의 기술적 취약성을 극복하고 국산화를 이룸으로서 국내 센서 산업의 국제 경쟁력 토대를 마련하고자 수행하였다.
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