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문제 정의
- 위의 끄림과 같은 실험을 다양한 진공도에 대하여 수 행하여 진공도에 따른 개루프와 폐루프의 감도를 측정하였다. 다음으로는 진공도에 따룐 대역폭의 변화릁 측정 하기 위한 실험을 수행하였다. 수십 Hz대의 높은 주파 수를 갖는 실제 각속도 산호를 레이트 테이블을 이용해 서는 구현할 수 없으므로 대역폭 실험을 위해서는 전기 적인 등가신호를 가해주는 회로를 구성하여 실험을 수행하였다.
- 본 논문에서는 마이크로 자이로스고프의 성능 향상을 위하여 PID 제어기를 이용한 폐루프 제어회로를 설계하였다. 자이로스코프의 특성상 높은 Q값을 가지도록 설 계하며 이를 위하여 일반적으로 찬공 환경하에서 동작하 게 된다.
- 본 논문에서는 반도체 공정을 이용한 초소형 구조물 제작 기술안 MEMS(Micro Electro-Mechanical Systems)공정을 이용하여 제작된 마이크로 자이로스코 프의 신호처리회로와 제어기 설계를 다루었다. 이러한 MEMS 공정을 이용하여 제작된 센서는 그 이점과 앞으 로의 응용 가능성 때문에 현재 가장 활발히 연구되고 있는 분야중의 하나이며 관성센서 영역에 있어서도 그 활 용도가 매우 커지고 있는 추세이다〔1-4〕.
- 반면에 감도 면에서는 폐루프 제어를 하는 경우가 플랜트의 이득의 감소를 가져오게 되므로 제어를 하기 전보다 낮아질 수 있다. 본 논문에서는 진공도에 따른 Q값의 변화를 관찰하고 이에 따른 제어효과를 실험을 통해 검증하였다.
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