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$BaTiO_3$계 후막의 유전특성에 관한 연구
A Study on the Dielectric Properties of BSCT Thick Films 원문보기

대한전기학회 2002년도 하계학술대회 논문집 C, 2002 July 10, 2002년, pp.1504 - 1506  

이성갑 (서남대 전기전자공학부) ,  김지헌 (광운대 반도체 및 신소재공학과) ,  이영희 (광운대 반도체 및 신소재공학과)

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

$(Ba_{0.6-x}-Sr_{0.4}Ca_x)TiO_3$ (x=0.10, 0.15, 0.20, y=$0.0{\sim}3.0$) powders were fabricated by the sol-gel method, and BSCT thick films were fabricated by the silk-screen printing method. Their structural and dielectric properties were investigated with variation of composi...

AI 본문요약
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제안 방법

  • 제작된 BSCT 후막의 조성 및 소결조건에 따른 결정상의 형성과 변화를 관찰하기 위해 X-선 회절 분석을 하였으며, 전자현미경을 이용하여 시편의 표면과 단면의 미세구조를 관찰하였다. 21리고 AgFas를 이용하여 상부전극을 형성시킨 후, BSCT 시편의 조성 비와 소결 조건에 따른 전기적 특성을 측정하였다*
  • 채료의 손실이 없으며. 높은 제현성과 제조단가가 저렴한 장점을 가진 스크린 프린팅법을 이용하여 (Ba, Sr, Ca)TiO3 후막을 제작하고자 하며, 조성비와 소결 조건에 따론 구조적, 전기적 특성을 측정하여 전자기소자로서의 용용 가눙성을 조사하고자 한다.
  • 본 연구에서는 (Bai-xSro.4Cax)Ti03 (x 드 0.10, 0.15, 0.20) 분말을 솔-젤법으로 제작한 후, 스크린 프린팅법을 이용하여 알루미나 기판위에 BSCT 후막을 제작하였다. 모든 시편에서 전형적인 다결정상의 BSCT X-선 회절모양을 나타내었으며, 하부 기판으로 사용한 알루미나의 피크가 관찰되었다.
  • 본 연구에서는 상온에서 상유천상이며, 낮은 유전손실을 갖는 조성식 (BaiSmnCaJTiS (x-0.10, 0.15. 0.20)을 선택한 후, 솔-젤법을 이용하여 분말을 합성하였다. 먼저, 고순도의 Ba-acetat 슨 Sr-acetate, Ca~acetate 시료를 3-neck 플라스크를 이용하여 acetic id에 완전 용해시킨 후, 2-M0E와 혼합한 TiTsopmpoxid욶 용액을 첨가한다.
  • 기판은 알루미나률 사용하였으며, 백금 paste를 스크린 프린팅법으로 알루미나 기판상에 도포하여 하부전극으로 사용하몄다. 제작된 BSCT 후막의 조성 및 소결조건에 따른 결정상의 형성과 변화를 관찰하기 위해 X-선 회절 분석을 하였으며, 전자현미경을 이용하여 시편의 표면과 단면의 미세구조를 관찰하였다. 21리고 AgFas를 이용하여 상부전극을 형성시킨 후, BSCT 시편의 조성 비와 소결 조건에 따른 전기적 특성을 측정하였다*
  • 그 후, 2-MOE와 H2O 혼합용액을 서서히 첨가하여 가수분해 반응을 시킴에 따라 혼합용액은 점차 젤화되며, 100℃의 오븐에서 7일간 충분히 건조시킨 후 분쇄하였으며, 1100에서 2시간 동안 하소하였다. 하소된 분말은 알루미나 유발을 이용하여 분쇄한 후, 고분자(Ferro, B75001) 와적정 비율로 혼합하여 past은상을 만든 후, 스크린 프린팅법을 이용하여 후막을 제작하였다. 후막의 소결은 1290〜 1380C에서 2시간동안 행하였으며.

대상 데이터

  • 후막의 소결은 1290〜 1380C에서 2시간동안 행하였으며. 기판은 알루미나률 사용하였으며, 백금 paste를 스크린 프린팅법으로 알루미나 기판상에 도포하여 하부전극으로 사용하몄다. 제작된 BSCT 후막의 조성 및 소결조건에 따른 결정상의 형성과 변화를 관찰하기 위해 X-선 회절 분석을 하였으며, 전자현미경을 이용하여 시편의 표면과 단면의 미세구조를 관찰하였다.
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