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NTIS 바로가기한국가시화정보학회 2002년도 마이크로/바이오 가시화기술부문 학술강연회, 2002 Apr. 01, 2002년, pp.1 - 7
김용범 (한국과학기술연구원 마이크로시스템 연구센터) , 김형준 (한국과학기술연구원 마이크로시스템 연구센터) , 강지윤 (한국과학기술연구원 마이크로시스템 연구센터) , 김태송 (한국과학기술연구원 마이크로시스템 연구센터)
This papers describes the preparation and experimental results of a micro mass detection devices based on cantilever and a diffuser-type micro pump using screen printing thick-film technologies and Si micro-machining. PZT-PCW thick films were prepared by new hybrid method based on the screen printin...
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