$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

기류방출형 정전기제거장치의 개발에 관한 연구 원문보기

한국안전학회 2003년도 춘계 학술논문발표회 논문집, 2003 May 01, 2003년, pp.167 - 172  

이동훈 (부경대학교 공과대학 안전공학과) ,  박훈규 (부경대학교 공과대학 산업대학원)

초록
AI-Helper 아이콘AI-Helper

액정판넬(LCD) 및 반도체 제조공정에 있어서 정전기 발생으로 인하여 미세한 먼지가 LCD 및 반도체 웨이퍼에 부착되거나, 정전기 방전에 의해 반도체소자 및 LCD 유리기판상의 패헌의 파괴를 야기하여 제품의 수율을 저하시키고 제조원가를 상승시키는 주요한 요인이 된다. 현재 이러한 제조공정에서 정전기를 위한 대책으로 코로나방전에 의한 이온바(Ion Bar) 및 이온브로어(Ion Blower)를 제전설비로 사용하고 있으나, 이 장치는 코로나 방전에 의한 이온을 발생시키고 이온화된 공기를 불어 내기 위하여 팬을 사용하여 공기를 대류 시킨다.(중략)

AI 본문요약
AI-Helper 아이콘 AI-Helper

* AI 자동 식별 결과로 적합하지 않은 문장이 있을 수 있으니, 이용에 유의하시기 바랍니다.

문제 정의

  • 菖')연X선식 정전기 제거 장치는 양극과 X선 창을 일체화한 투과 양극 연X선관을 사용하기 때문에 연X선 조사각이 넓어서 대면적 제전에 매우 유리하다는 장점이 있으나, 연X선의 인체 유해성 문제로 여러 가지의 차폐장치가 필요한 단점 또한 있다. 따라서 본 연구에서는 이러한 문제를 해결하기 위하여 연X선 발생원을 스테인레스 차폐재 내부에 설치하고 이온화된 공기를 노즐을 통하여 방출하도록 고안한 기류방출형 정전기 제거장치를 개발하여 이에 대한 연구결과를 발표한다. 우선 코로나 방전식 제전기와 비교해서 연X선식제전기 특징에 관해서 논하고, 연X선의 법규상의 문제점과 사용상의 문제점(인체의 영향, 제품의 영향, 생산장치의 부품의 영향에 대해서 논하고, 마지막으로 개발된 기류방출형 정전기 제거의 특성을 설치거리의 변화에 따른 전위강쇄 특성 및 이온전류 특성을 검토하고, 주입공기압의 변화에 따른 전위강쇄 특성을 실험적으로 검토하여 신개념 의 정 전기제거장치의 개발을 위한 기초자료를 제공하고 저 한다.
  • 기류방출형 정전기 제거장치의 제전 능력은 모의 대전 전압을 10% 정도의 전압까지 감쇄시키는 시간적 비율 및 이온전류로 나타낼 수 있다. 본 실험에서는 모의 대전 물체와 제전기 사이의 설치거리, 기류방출형 정전기 제거로의 주입공기 압력에 따른 제전 성능의 비교 및 누설 방사선량에 따른 인체에 대한 안전성을 검토하였다.
  • 따라서 본 연구에서는 이러한 문제를 해결하기 위하여 연X선 발생원을 스테인레스 차폐재 내부에 설치하고 이온화된 공기를 노즐을 통하여 방출하도록 고안한 기류방출형 정전기 제거장치를 개발하여 이에 대한 연구결과를 발표한다. 우선 코로나 방전식 제전기와 비교해서 연X선식제전기 특징에 관해서 논하고, 연X선의 법규상의 문제점과 사용상의 문제점(인체의 영향, 제품의 영향, 생산장치의 부품의 영향에 대해서 논하고, 마지막으로 개발된 기류방출형 정전기 제거의 특성을 설치거리의 변화에 따른 전위강쇄 특성 및 이온전류 특성을 검토하고, 주입공기압의 변화에 따른 전위강쇄 특성을 실험적으로 검토하여 신개념 의 정 전기제거장치의 개발을 위한 기초자료를 제공하고 저 한다.
본문요약 정보가 도움이 되었나요?
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로