$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

열 CVD에 의한 탄소나노튜브 성장 및 구조의 온도의존성
Temperature dependence on the growth and structure of carbon nanotubes by thermal chemical vapor deposition 원문보기

한국전기전자재료학회 2001년도 하계학술대회 논문집, 2001 July 01, 2001년, pp.131 - 134  

이태재 (군산대학교 전자정보공학부) ,  류승철 (군산대학교 전자정보공학부) ,  이철진 (군산대학교 전자정보공학부)

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

Vertically aligned carbon nanotubes are grown on iron-deposited silicon oxide substrates by thermal chemical vapor deposition of acetylene gas at the temperature range 750∼950$^{\circ}C$. As the growth temperature increases from 750 to 950$^{\circ}C$, the growth rate increa...

AI 본문요약
AI-Helper 아이콘 AI-Helper

* AI 자동 식별 결과로 적합하지 않은 문장이 있을 수 있으니, 이용에 유의하시기 바랍니다.

문제 정의

  • 그러나, 열 CVD를 사용한 탄소나노튜브의 온도제어 성장에 대한 체계적인 연구가 아직 충분하지 못한 실정이다. 연구에서는 탄소나노튜브의 성장에 미치는 온도효과를 다루었다. 열 CVD 에서Fe 금속막이 증착된 실리콘 산화막 (SiO2)기판위에 750 ~950 ℃ 온도범위에서 아세틸렌 가스를 사용하여 수직정렬된 탄소나노튜브를 합성하였다.
본문요약 정보가 도움이 되었나요?
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로