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Si(001)/NiO(300 $\\AA$)/NiFe계 휘스톤 브리지형 자기저항소자
Wheastone-bridge type MR sensors of Si(001)/NiO(300 $\\AA$)/NiFe bilayer system 원문보기

한국전기전자재료학회 2001년도 하계학술대회 논문집, 2001 July 01, 2001년, pp.1050 - 1053  

이원재 (전자기소자연구그룹) ,  민복기 (전자기소자연구그룹) ,  송재성 (전자기소자연구그룹)

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

There is great interest in developing magnetoresistance(MR) sensor, using ferromagnetic, electrically non-magnetic conducting and antiferromagnetic films, especially for the use in weak magnetic fields. Here, we report single and Wheatstone-bridge type of MR sensors made in Si(001)/HiO(300$\AA$...

AI 본문요약
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제안 방법

  • 그리고 증착된 박막은 포토리소그라피하여 단소자와 휘 스톤 브리지 형상의 패턴을 제작하였다. MR 비 (AK/7L)는 4단 자법에 의하여 외부자장 ±100 Oe 내에서 측정하였다.
  • Si(001 )/NiO(300A)/NiFe(450A) 박막 구조를 이용하여 단소자 및 휘스톤 브리지형 센서소자를 포토리 리소그라피 공정에 의하여 제조, 전자기 특성을 측정하였다. 그리고 단자구 모델을 근거로 하여 MR 특성을 비교 분석하여 다음과 같은 결과를 얻었다.
  • Si(001 )/NiO(300A)/NiFe(450A) 박막 구조를 이용하여 단소자 및 휘스톤 브리지형 센서소자를 포토리 리소그라피 공정에 의하여 제조, 전자기 특성을 측정하였다. 그리고 단자구 모델을 근거로 하여 MR 특성을 비교 분석하여 다음과 같은 결과를 얻었다.
  • 박 막 증착 중 영구자석(약IkOe)을 이용하여 일축 이방성을 박막의 표면에 인가하여 상호교환 바이어스장을 형성하 게 하였다. 그리고 증착된 박막은 포토리소그라피하여 단소자와 휘 스톤 브리지 형상의 패턴을 제작하였다. MR 비 (AK/7L)는 4단 자법에 의하여 외부자장 ±100 Oe 내에서 측정하였다.
  • 따라서, 본 연구에서는 Si(001)/NiO(300A)/NiFe(450 A) 박막 구조의 FM과 AF 층을 이용하여, 고저 항형 단소 자를 구성하였다. 또한, 출력신호를 향상시키고, 온도변 화(thermal purturbation)를 배제할 수 있는 장점을 갖는 휘스톤 브리지 형태의 자기검출용 센서를 포토리소그 라피공정를 이용하여 제작하였다.
  • 따라서, 본 연구에서는 Si(001)/NiO(300A)/NiFe(450 A) 박막 구조의 FM과 AF 층을 이용하여, 고저 항형 단소 자를 구성하였다. 또한, 출력신호를 향상시키고, 온도변 화(thermal purturbation)를 배제할 수 있는 장점을 갖는 휘스톤 브리지 형태의 자기검출용 센서를 포토리소그 라피공정를 이용하여 제작하였다. 이때, 단소자와 휘스 톤 브리지에서, 전류 및 외부자장 사이의 각도에 따른 자기저항 변화와 단자구 모델을 근거로 하여 MR 특성을 분석하였다.
  • NiFe박막의 두께는 a-step을 사용하여 보정하였다. 박 막 증착 중 영구자석(약IkOe)을 이용하여 일축 이방성을 박막의 표면에 인가하여 상호교환 바이어스장을 형성하 게 하였다. 그리고 증착된 박막은 포토리소그라피하여 단소자와 휘 스톤 브리지 형상의 패턴을 제작하였다.
  • 외부 자장과 & 사이의 각도 변화(8=0, 45° , 9 0° )의존성을 외부자장 ±1000e 내외에서 측정하였다. 8=0°인 경우 MR 곡선 전형적인 피크를 나타낸다.
  • 또한, 출력신호를 향상시키고, 온도변 화(thermal purturbation)를 배제할 수 있는 장점을 갖는 휘스톤 브리지 형태의 자기검출용 센서를 포토리소그 라피공정를 이용하여 제작하였다. 이때, 단소자와 휘스 톤 브리지에서, 전류 및 외부자장 사이의 각도에 따른 자기저항 변화와 단자구 모델을 근거로 하여 MR 특성을 분석하였다.

대상 데이터

  • NiO 박막은 Si(001) 위에 RF-마그네트론 스퍼트링하였다. Ar 분압은 0.
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