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문제 정의
- 본 논문에서는 각기 다른 웨이퍼를 기본시료로 고온 확산공정 진행에 따른 산화막의 전기적 특성을 평가함으로써 향후 전력용 소자의 항복 전압 특성 구현에 가장 큰 영향을 미칠 field 산화막의 전기적 특성평가를 통해 미리 추정해 보는데 그 목적이 있다. 이를 통해 고온 '확산공정 적용으로 라인 생산성 향상에 크게 기여할 수 있는 가능성을 확인하고자 하였다
- 본 논문에서는 국내 최초로 1300EX:] 이상의 고온 확산공정과 그에 따른 산화막의 C-V값의 변화를 처음으로 기술하였다. FZ방식으로 성장시킨 웨이퍼가 CZ방식의 웨이퍼에 비해 산화막질 특성이 못한 것으로 평가 되었다.
- 본 연구에서는 인가 전압 영역을 -30[V]에서 +10EV]까지 인가하며 측정하였으며 산화막내의 전하량 및 오염정도를 판단하기 위하여 200UC]까지 온도를 상승시킨 후 +20[V], -20[V]의 stress 전압을 인가 함으로써 산화막내의 이동전하량을 측정할 수 있었다.
- 있다. 이를 통해 고온 '확산공정 적용으로 라인 생산성 향상에 크게 기여할 수 있는 가능성을 확인하고자 하였다
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