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NTIS 바로가기한국정밀공학회 2003년도 춘계학술대회 논문집, 2003 June 01, 2003년, pp.46 - 49
정성일 (부산대 대학원 정밀기계공학과) , 임용관 (부산대 대학원 정밀기계공학) , 박선준 (부산대 대학원 정밀기계공학) , 최재영 (부산대 대학원 정밀기계공학) , 정해도 (부산대학교 기계공학부)
Microsystem technology (MST) which originated from semiconductor processes has been widely spreaded into tile other industry such as sensors, micro fluidics and displays. The MST, however. has been troubled in spreading with its high cost and material limitations. So, in this paper, new process for ...
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