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2축 힘센서를 이용한 스크레치 테스트 개발
Development of a scratch tester using a two-component force sensor
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한국정밀공학회 2003년도 춘계학술대회 논문집, 2003 June 01, 2003년, pp.1018 - 1021
김종호 (한국표준과학연구원) , 박연규 (한국표준과학연구) , 이호영 (한국표준과학연구) , 박강식 (아토이엔지(주) , 오희근 (아토이엔지(주))
Abstract
AI-Helper
A scratch tester was developed to evaluate the adhesive strength at interface between thin film and substrate(silicon wafer). Under force control, the scratch tester can measure the normal and the horizontal forces simultaneously as the probe tip of the equipment approaches to the interface between ...
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