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피조 간섭계의 정밀도 개선에 관한 연구
Improvement of Phase Measuring Accuracy for Fizeau Interferometry 원문보기

한국광학회 2001년도 제12회 정기총회 및 01년도 동계학술발표회, 2001 Feb. 01, 2001년, pp.88 - 89  

김학용 (한국과학기술원 기계공학과) ,  김병창 (한국과학기술원 기계공학) ,  이혁교 (한국과학기술원 기계공학) ,  김승우 (한국과학기술원 기계공학과)

초록
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작은 영역에서 고정밀도의 가공과 측정을 필요로 했던 과거와는 달리 점점 그 영역은 확대되고 있고 정밀도 또한 그에 못지 않게 높은 사양을 요구하고 있다. 노광 장비를 구성하는 많은 광학 렌즈와 미러의 경우 웨이퍼의 크기가 커지면서 영역은 넓어지고 광원의 파장이 짧아지면서 요구되는 형상오차가 더욱 엄밀해지고 있다. 인공위성에 설치되는 우주망원경의 렌즈와 미러도 그 영역이 갈수록 커지고 높은 형상 정밀도를 필요로 한다. (중략)

AI 본문요약
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문제 정의

  • 페를 A는 끝단이 θi의 각도로 경사 단면을 갖고 있으며 두페 룰 A는 광섬유의 광축이 최대한 접근할 수 있도록 가공되었다. 두 단면 광섬유 광원의 간섭무늬를 파면 복원함으로써 경사단면 광섬유 광원의 구면파 정도를 알아낼 수 있는 것이다. 이러한 간섭방식은 두 광축이 서로 일치하지 않기 때문에 이상적인 구면파라고 해도 간섭 부니로부터 파면을 복원하게되면 기하학적인 기울기(tilt)성분과 코마(coma)수차가 크게 나타난다.

가설 설정

  • 경사 단면 광섬유 광원은 중심에 세 라믹 페 둘이 있고 간섭무늬 관찰을 위해서 경사면은 경면 가공되어 있다. F 경사 단면 광섬유 광원을 피조 간섭계에 적용할 경우 구민나 광원이라는 가정을 하게 되는데 본 연구에서는 이를 실험 적으로 검증할 수 있었다. 그림 2 (a)는 경사단면 광섬유 광원 파면을 즉정하기 위한 PS/PDI (Phase Shi ft ing/Point f: act ion Interferometer)(3)-형태의 간섭계의 구성을 보여주고다.
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