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제안 방법
- 개구 주변에 빛이 새는 것을 막기 위해서 금속 코팅을 하기 때문에 금속 코팅을 한 경우와 하지 않은 경우로 나누어서 시뮬레이션을 진행했다. 금속 막을 통과하는 빛이 거의 없을 것이므로 코팅을 한 경우의 시뮬레이션은 완전 도체(PEC : Perfectly Electric Conductivity)로 만들어진 개구에 대한 시뮬레이션과 같을 것이다.
- 이런 결과는 다 중 반사(multiple reflection)에 의한 것으로 생각된다. 이런 문제를 해결하기 위해서 Si을 lossy dielectric mverial로 근사하여 흡수를 고려한 시뮬레이션을 진행하였다.
이론/모형
- 수 있다면 다양한 구조를 미리 시뮬레이션해서 이상적인 구조를 선택할 수 있다. 본 연구에서는 Finite Difference Time Domain(FDTD) 방법을 이용하여 나노 탐침 슬라이드에서의 빛의 전파에 대한 시뮬레이션을 수행했다. 공간좌표 상에서 맥스웰 방정식을 이용하여 전자기적인 현상을 시뮬레이션하는 FDTD 방법은 상당한 량의 계산이 필요하지만 매질에 대한 가정이나 프레넬 근사와 같은 근사를 사용하지 않기 때문에 개구 근처에 생성되는 근접 장의 전기장 분포를 정확히 알아낼 수 있다.
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