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NTIS 바로가기한국진공학회 2001년도 창립10주년 제20회 학술발표회, 2001 Feb. 22, 2001년, pp.179 - 179
유정호 (연세대학교 세라믹공학과) , 남석우 (연세대학교 세라믹공학과, 삼성전자 반도체연구소) , 김민주 (연세대학교 세라믹공학과) , 이동원 (연세대학교 세라믹공학과) , 최효직 (연세대학교 세라믹공학과) , 고대홍 (연세대학교 세라믹공학과)
초록이 없습니다.
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