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NTIS 바로가기한국진공학회 2002년도 제22회 학술발표회 초록집, 2002 Feb. 19, 2002년, pp.174 - 174
권기청 (주성엔지니어링 Etcher팀) , 김정식 (주성엔지니어링 Etcher팀) , 최성혁 (주성엔지니어링 Etcher팀) , 전재홍 (주성엔지니어링 Etcher팀) , 조우민 (주성엔지니어링 Etcher팀) , 김동수 (주성엔지니어링 Etcher팀) , 이동석 (한국과학기술원 물리학과) , 이용관 (한국과학기술원 물리학과) , 장홍영 (한국과학기술원 물리학과)
초록이 없습니다.
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