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NTIS 바로가기한국진공학회 2002년도 제22회 학술발표회 초록집, 2002 Feb. 19, 2002년, pp.191 - 191
정순희 (한국표준과학연구원 진공기술센터) , 임종연 (한국표준과학연구원 진공기술센터) , 이완형 (충남대학교) , 성대진 (한국표준과학연구원 진공기술센터) , 신용현 (한국표준과학연구원 진공기술센터) , 정광화 (한국표준과학연구원 진공기술센터)
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