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문제 정의
- 반도체 제조시스템의 스케줄에 관련된 대부분의 연구는 사이클 타임 단축에 대한 일정 시간 생산량의 증대와 같은 단일목표에 대한 알고리즘의 스케줄을 개발하는데 초점을 맞추고 있다. 변동성을 줄임으로서 생산량의 희생 없이 낮은 WIP(Work In Process) 수준을 유지하도록 하는 공정 모듈 시스템(Process Modular System : PMS)을 구축하기 위해서 본 연구는 M사의 반도체 공정을 중심으로 시스템을 개발하고, 시뮬레이션 프로그램을 이용하여 시스템을 검증하였다.
- 생산시스템에서의 모듈방식은 표준화된 모듈화 기계로부터 생산시스템을 세우는 것이 목적이다. 빌딩블럭을 무엇으로 할 것인가에 대한 동의의 결핍과 생산 기계들의 다양성 소개를 이끌어내는 현재 생산 요구가 폭넓은 상이점인 것이 사실이다.
가설 설정
- : 실리콘의 산화막 형성은 반도체 집적회로 제작에서 가장 기본적이며 자주 사용되는 공정이다. 반도체 재료로 실리콘 웨이퍼가 가장 많이 쓰이는 이유 중 하나는 화학적으로 안정된 보호막으로 사용되는 고순도의 산화막을 실리콘 웨이퍼 위에 쉽게 형성할 수 있기 때문이다.
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